plasma等離子清洗機(jī)（www.sfi-crf.com）會(huì)應(yīng)用到各種各樣加工工藝氣體，表層清理和活化一般會(huì)應(yīng)用到氧、氫、氮和空氣壓縮，然而依據(jù)加工工藝的不同也會(huì)應(yīng)用氬氣。那么為何要應(yīng)用氬氣這類氣體呢，及其它在plasma清洗機(jī)中的主要發(fā)揮的功效是什么。

氬是一種無(wú)色，無(wú)味的惰性氣體，工業(yè)上主要用在電弧焊接和金屬材料激光切割保護(hù)上，氬是一種惰性氣體，所以弱電解質(zhì)后造成的離子體與基材不產(chǎn)生化學(xué)變化。在plasma清洗中，氬用在基材表層的物理學(xué)清理和表層粗化。因而，氬等離子清洗機(jī)廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體材料、微電子技術(shù)、晶圓制造等制造行業(yè)。真空等離子清洗機(jī)中氬離子產(chǎn)生的輝光是暗紅色的。在同樣充放電自然環(huán)境下，氫氣、氮?dú)猱a(chǎn)生的等離子體均為鮮紅色，不過(guò)氬氣的色度小于氮?dú)猓�高過(guò)氫氣。

在圓晶、夾層玻璃等產(chǎn)品的表層顆粒物除去灰塵全過(guò)程中，一般選用氬氣對(duì)表層顆粒物開(kāi)展轟擊，以完成顆粒物的分散化和松脫，隨后再開(kāi)展超聲清洗或離心清理的工藝。尤其是在半導(dǎo)體封裝全過(guò)程中，進(jìn)行導(dǎo)線加工工藝后避免被空氣氧化，也是選用氬氣清洗機(jī)或氬氫等離子表層清理。

氬氫混合應(yīng)用不僅可以提升粗糙度外，還能有效除去焊層表層的有機(jī)化學(xué)空氣污染物，對(duì)表層微空氣氧化進(jìn)行還原，普遍應(yīng)用在半導(dǎo)體和工廠SMT等行業(yè)。